tmds是什么化学物质？

tmds是什么化学物质？

TMDS是一种多官能团的硅烷单体，中文名称是「四甲基二硅氮烷」，英文全称是「Tetra-Methyl-Di-Silazane」，这玩意儿是其他硅烷和硅橡胶的合成中间体兼具偶联剂作用一般不常见，而且纯TMDS比较危险都是接触它的THF稀释溶液居多。